中图仪器(CHOTEST)

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有图晶圆要害尺寸及套刻量测系统是一款集成高精度平面尺寸检测和亚纳米级外貌3D形貌丈量的光学检测仪器，，，，，同时知足大规模多区域的高精度全自动检测，，，，，优异的重复性及效率有用镌汰人为误差及职员投入。。。。。。。

中图仪器(CHOTEST)

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WD4000无图晶圆几何量测系统自动丈量Wafer厚度、外貌粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。。。。。。。使用光谱共焦对射手艺丈量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，，，，，同时天生Mapping图；；；；；；接纳白光干预丈量手艺对Wafer外貌举行非接触式扫描同时建设外貌3D 层析图像，，，，，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，，，，，高效剖析外貌形貌、粗糙度及相关3D参数；；；；；；基于白光干预图的光谱剖析仪，，，，，通过数值七点相移算法盘算，，，，，抵达亚纳米区分率丈量外貌的局部高度，，，，，实现膜厚丈量功效；；；；；；红外传感器发出的探测光在Wafer 差别外貌反射并形成干预，，，，，由此盘算出两外貌间的距离（即厚度），，，，，可适用于丈量Bonding Wafer的多层厚度。。。。。。。该传感器可用于丈量差别质料的厚度，，，，，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。。。。。。。

中图仪器(CHOTEST)

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VJ系列3D轮廓丈量仪，，，，，搭配高精度线激光测头，，，，，团结高精度图像剖析算法，，，，，无接触扫描3D轮廓成像，，，，，实现尺寸的快速准确丈量。。。。。。。CNC模式下，，，，，只需按下启动键，，，，，仪器即可凭证工件的形状自动定位丈量工具、匹配模板、丈量评价、报表天生，，，，，真正实现一键式快速精准丈量。。。。。。。

中图仪器(CHOTEST)

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Hybrid系列复合式闪测仪是一种先进的全自动影像丈量仪，，，，，基于大理石主体机台和细密伺服控制系统，，，，，接纳电动变倍镜头和大视场双远心镜头的混淆架构，，，，，充分验展光学电动变倍镜头的高精度优势和大视场双远心镜头的效率优势，，，，，实现精度和效率的优化组合丈量。。。。。。。Hybrid复合式闪测仪功效强盛，，，，，可实现种种重大零件的外貌尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差等细密丈量。。。。。。。

中图仪器(CHOTEST)

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Novator系列是一种先进的全自动影像丈量仪，，，，，接纳大理石主体机台和细密伺服控制系统，，，，，实现高精度运动丈量；；；；；；充分验展光学电动变倍镜头的高精度优势，，，，，将古板影像丈量与激光丈量扫描手艺相团结，，，，，实现2.5D和完全意义的3D复合丈量。。。。。。。Novator还支持频闪照明和飞拍功效，，，，，可举行高速丈量，，，，，大幅提升丈量效率；；；；；；具有可自力升降和可替换RGB光源，，，，，可顺应更多重大工件外貌。。。。。。。多种丈量新特征、新功效的立异支持，，，，，付与Novator强盛的丈量能力。。。。。。。

Thermo Fisher(赛默飞)

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UV800，，，，，接纳高效的洗濯升温系统，，，，，高达9千瓦的加热功率，，，，，包管了快速的升温速率。。。。。。。专业的热声质料，，，，，使得热量流失更少，，，，，节约了洗濯本钱。。。。。。。UV800 提供了211 升超大的洗濯空间，，，，，高达200 多位的洗濯篮架，，，，，可以一次性洗濯大宗的玻璃器皿，，，，，大大提高了洗濯效率，，，，，节约了您的时间。。。。。。。