型 号：FA1813
名 称：飞针测试机
品 牌：日置(HIOKI)
分 类：半导体装备 > 半导体芯片测试 > 测试机
产品属性：主机
简 述：
可精准探测高密度封装基板上的细小焊盘
申请服务
提要
- 支持细小焊盘的四端子测试
- 装配新的测试探针，，，，，，，减轻针痕
- 使用「流程剖析软件」举行不良剖析
FA1813特点
上方手臂的位置校正相机比照旧机型像素提高了两倍，，，，，，，并配有高倍率镜头（光学2倍），，，，，，，可精准探测高密度封装基板上的细小焊盘。。。。。。
通过「带接触检查的探针下压」这一新功效的优化，，，，，，，实现探针的优异行程控制，，，，，，，更大限度地减轻针痕并降低对焊盘的损伤。。。。。。
规格
概略规格
| 手臂数目 | 上面2,下面2 | |
|---|---|---|
| 可装置探针 | 1172系列,CP1072系列,CP1073系列 | |
| 测试步数 | 999,999步 | |
| 测试项目·测试规模 | 直流定电流导通测试 | 400.0μΩ?400.0 kΩ |
| 直流定电流电阻测试 | 40.00μΩ?400.0 kΩ | |
| 直流定电压电阻测试 | 4.000 Ω?40.00 MΩ | |
| 绝缘电阻测试 | 1.000 kΩ?100.0 GΩ | |
| 交流定电压电容测试 | 100.0 fF ?10.00μF | |
| 泄电流测试 | 1.000 μA ?10.00 mA | |
| 高压电阻测试 | 1.000 kΩ ?100.0 GΩ | |
| 电容器绝缘测试 | 1.000 kΩ ?10.00 MΩ | |
| 开路测试 | 4.000 Ω ?4.000 MΩ | |
| 短路测试 | 400.0 mΩ ?40.00 kΩ | |
| LSI 消耗电流检查 | 100.0 nA ?100.0 mA | |
| 交流定电压电阻测试 | 10.00 Ω ?10.00 kΩ | |
| 交流定电压电容测试 | 10.00 pF ?100.0 μF | |
| 交流定电压电感测试 | 1.000 μH ?1.000 mH | |
| 判断规模 | -99.9% ?+999.9%, 或者是绝对值 | |
| 最小移动区分率 | XY：0.1 μm / pulse , Z： 1 μm / pulse | |
| 测点最小间距 | 上面：32um（使用CP1075-09时） 下面：44um（使用CP1075-09时） |
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| 焊盘最小尺寸 | 上面： 2um（使用CP1075-09 时） 下面：14um（使用CP1075-09 时） |
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| 测试速率 | Max. 76 points/s (0.15 mm 移动?4 手臂同时接触, 电容测试时) | |
| 可测试基板尺寸 | 厚度: 0.5 ?2.5 mm, 体积: 50W × 50D ?400W × 330D mm | |
| 最大可测区域 | 398W × 304D mm | |
| 基板牢靠 | 基板双方夹板牢靠方法 | |
| 使用电源 | AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V单相 ( 订货时指定) 50/60 Hz, 5 kVA | |
| 体积?重量 | 1355W × 1200H × 1265D mm ( 凸起部除外), 1130 kg±20 kg | |
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