SEMISHARE CGX半自动真空崎岖温探针台,专为研发和特定生产应用而设计，，，，，，，，可实现在真空情形下，，，，，，，，温度规模：77K-450K(液氮)，，，，，，，，10K-450K(液氦)，，，，，，，，在单片晶圆上快速完成高精度测试。。。。。。
申请服务
SEMISHARE CGX半自动真空崎岖温探针台,专为研发和特定生产应用而设计，，，，，，，，可实现在真空情形下，，，，，，，，温度规模：77K-450K(液氮)，，，，，，，，10K-450K(液氦)，，，，，，，，在单片晶圆上快速完成高精度测试。。。。。。
基本信息
| 产品型号 | CGX8 | 事情情形 | 真空崎岖温情形 |
| 电力需求 | AC220V,50~60HZ | 操控方法 | 半自动 |
| 产品尺寸 | 1150*1450*1800mm | 装备重量 | 约1000KG |
应用偏向
凭证测试样品分类：晶圆测试，，，，，，，，LED测试，，，，，，，，功率器件测试，，，，，，，，MEMS测试，，，，，，，，PCB测试，，，，，，，，液晶面板测试，，，，，，，，太阳能电池片测试，，，，，，，，质料外貌电阻率测试
凭证应用分类： 射频测试，，，，，，，，高温情形测试，，，，，，，，低电流（100fA 级）测试，，，，，，，，I-v/c-v/p-iv测试，，，，，，，，高压，，，，，，，，大电流测试，，，，，，，，磁场情形测试，，，，，，，，辐射情形测试
手艺特点
空气薄膜减震系统
内置一体化高性能空气薄膜减震系统和外置隔离防撞栏的双重设计，，，，，，，，有用阻止因操作职员触碰引起的震惊；；；；；
并接纳长时效的铸件作为基板，，，，，，，，在运动历程中震惊抑制以≤1S的快速率包管装备的平稳运行，，，，，，，，确保图像2000X放大时画面不颤抖；；；；；
同时高精度调理阀包管平台运动部分在高度上的误差为≤0.1mm，，，，，，，，有用实现快速die to die的测试能力，，，，，，，，确保整个系统在高速运动时仍能坚持稳固的运行状态，，，，，，，，极洪流平的提高测试效率。。。。。。
自主研发的软件集成系统，，，，，，，，兼容性更强
- 支持半自动控制（可手动测试、亦可自动测试）
- 自动Wafer校准、自动wafer mapping、自动die size丈量、自动align、自动测试数据可远程会见
- 一键自动校准RF探针模？？？ ？？？？椋，，，，，，自动清针功效
- 一键式自顺应四轴Chuck精度校准，，，，，，，，支持微米级pad点测
- 可支持单点测试或一连测试
- 强盛的数据贮存能力以及数据处置惩罚能力
- 可对测试效果举行BIN值划分，，，，，，，，判断器件NG
- 多系统集乐成能，，，，，，，，可自力升级操作系统、应用系统和器件测试系统
电动变倍显微镜
12：1快速精准电动变倍显微镜，，，，，，，，变倍规模0.6X~7.2X，，，，，，，，图像区分率3.05μm，，，，，，，，综合放大倍率33X~396X
高效的CHUCK系统，，，，，，，，测试效率大幅度提升
- 高效的CHUCK测试系统运行速率≥40mm/s，，，，，，，，运动精度≤±1μm，，，，，，，，同时移动转位时间index time≤500ms，，，，，，，，优异的系统运行参数已抵达高水平，，，，，，，，高测试精度和效率知足种种晶圆和器件的高重复性与稳固性测试测试效率有用大幅度提升；；；；；
- 优于±0.1℃的温控精度和稳固性，，，，，，，，提供崎岖温情形下的可靠性晶圆测试；；；；；
- 四维运动低重心紧凑结构设计，，，，，，，，确保40mm/s的运动速率的同时坚持运动加减速的稳固性。。。。。。
规格参数
| "="">机械规格 | |
| "="">Chuck | "="">8" |
| "="">Chuck 平整度 | "="">20μm |
| "="">探针臂定位精度 | "="">2μm |
| "="">探针臂X轴行程 | "="">10mm |
| "="">探针臂Y轴行程 | "="">10mm |
| "="">探针臂Z轴行程 | "="">10mm |
| "="">Chuck位移台X轴行程 | "="">200mm |
| "="">Chuck位移台Y轴行程 | "="">200mm |
| "="">Chuck位移台Z轴行程 | "="">20mm |
| "="">Chuck位移台Theta轴行程 | "="">±5° |
| "="">Chuck位移台重复定位精度 | "="">±1μm |
| "="">温控规格 | |
| "="">温度规模 | "="">"="">77K-450K(液氮)，，，，，，，，10K-450K(液氦) |
| "="">温控器区分率 | "="">0.001℃ |
| "="">传感器误差 | "="">恣意区段0.5% |
| "="">真空规格 | |
| "="">漏率 | "="">1.3x10"="">-9"=""> Pa.M"="">3"="">/s |
| "="">分子泵组抽速 | "="">290L/S |
| "="">分子泵极限压力 | ＜5 x 10"="">-10"="">mbar |
| "="">系统极限压力 | ＜5.0x10"="">-4"="">Pa |
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